X射線是類似可見光的一種電磁波（圖1），被廣泛應用于各種領域，比如X探傷，晶體學，元素成分分析等等。

圖1 光譜圖

X射線最早是由德國物理學家倫琴發現的，最早是用于醫學影像檢測。后來，經過對X射線不斷研究，英國物理學家巴克拉發現當X射線照射某元素時，會發出一條與之對應的特征譜線，并以此建立了X射線光譜學。這一發現促進了X射線熒光光譜儀的誕生。

經過多年的發展，X射線熒光光譜儀作為一種快速、無損的成份檢測儀器，被廣泛應用生產檢測當中。

X射線熒光光譜儀基本原理：X射線管產生的X射線(初級X射線)照到物質(樣品)上時，與元素的核外電子發生相互作用，將內層電子激發，形成軌道空穴，遵循能量最低原理，外層電子補充進來，這個過程會有能量差，這部分能量以特征X射線形式釋放，而每個元素的特征X射線的能量和波長是不同的，便可根據特征X射線進行元素判別，根據熒光強度可判別其在物質中含量。

X射線熒光光譜儀分析元素范圍從4號元素Be開始一直到92號U元素，主要是針對固體、液體分析，很難分析氣體，所以惰性氣體不屬于X射線熒光光譜儀分析范疇。元素周期表中，有一些重元素不穩定，容易發生衰變，形成新的粒子，這些元素也不在X射線熒光光譜儀的分析范疇。